TMF-02 系列模擬型微小氣體質量流量計
◆ TMF-02 系列模擬型質量流量計 MFM/控制器 MFC 是由質量流量傳感 器，層流分層件，流量控制器調節閥和控制電路組成，響應快，精度高，控制范圍廣，量程 范圍為 2SCCM~300SLM，最小可以測量調節 1SCCM 的流量，可用于非常小的流量的控制。
◆ 熱式原理，響應快，精度高
◆ 管狀分流，不易堵塞
◆ 適用于各種低壓和高壓管道
◆ 預熱時間短，零漂小，可靠性高
◆ 模擬量輸入/輸出可使用二次儀表或流量計算機控制和顯示流量
產品描述
首科實華 TMF-02 系列模擬型質量流量計 MFM/控制器 MFC 是由質量流量傳感 器，層流分層件，流量控制器調節閥和控制電路組成，響應快，精度高，控制范圍廣，量程 范圍為 2SCCM~300SLM，最小可以測量調節 1SCCM 的流量，可用于非常小的流量的控制。
產品應用
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玻璃行業 |
太陽能 |
大氣監測 |
工業制作 |
石油石化 |
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煤炭冶金 |
制氣配氣 |
環保 |
各種儀器分析 |
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流量范圍 |
2SCCM～300SLM（更大及更超微小流量詳詢首科實華） |
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精度 |
標準精度±1.0%F.S，（有±0.5%F.S 及更高精度可選，詳詢首科實華） |
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線性 |
±0.5%F.S |
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重復精度 |
±0.2%F.S |
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響應時間（標準工況下） |
MFM<1000ms; MFC<1600ms |
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模擬量輸入輸出選項 |
0～5V、4-20mA、1～5V、0-10V 等 |
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供電 |
±15VDC、24VDC 可選 |
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工作溫度 |
0～70℃ |
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工作壓力 |
MFM 壓降<30Kpa；MFC 壓差 0.05-0.5Mpa |
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最大耐壓 |
標準耐壓 1Mpa，最大耐壓可選 MFC 3MPa；MFM 10MPa |
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電氣連接 |
標準 DB 型 15 線、標準 DB 型 9 線可選（更多兼容接口可定制，詳詢首科實華） |
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本體漏露率 |
1×10-9SCCSHe |
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溫度系數 |
±0.025%F.S/℃ |
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底座材質 |
316L 不銹鋼 |
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密封圈選型 |
氟橡膠，氯丁橡膠，丁腈橡膠、金屬密封等 |
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氣路接頭選項 |
標準 G3/8 內螺紋（可定制卡套、快插、寶塔、快擰、VCR、法蘭等多種接頭） |
產品規格尺寸（30SLM 以下）
產品規格尺寸（30SLM 以上）
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